基于半导体氧化锌的气体传感器具有价格低廉，结构简单，灵敏度高，长期稳定性好等优点，是近年来人们的研究热点之一。氧化锌材料是典型的n型半导体氧化物之一，并在工业和家用检测有毒、可燃性气体上具有广泛的应用前景。最新的研究结果表明，通过对敏感材料的形貌的调控，气敏元件的气敏特性可以有很大的改善与提高。基于此研究背景，本论文主要采用水热的方法，制备了具有不同形貌的ZnO材料，并考察材料的气敏特性。本论文主要以二水乙酸锌和水合肼为出发原料，采用水热法制备了一种新颖的花状分等级结构氧化锌(ZnO)纳米材料。通过时间演化实验，结合氧化锌的生长特性，给出了此形貌可能的生长机理。气敏特性测试的结果表明，纳米花ZnO传感器在150℃下对100ppm H2S表现出较好的选择性、较高的灵敏度和较快的响应恢复特性。进一步，以氯化钯为掺杂剂，考察了由于钯的掺杂对材料的表面形貌及气敏特性影响。SEM测试结果表明，随着钯掺杂量的增加，所制备样品的形貌由花状分等级纳米结构逐渐向梭形结构转化。由FESEM和TEM结果可以看出，梭形ZnO纳米棒的长度约为4-6微米、直径约为500纳米，并具有较好的单分散性。作为对比研究，测试了纯ZnO和钯掺杂梭形ZnO对乙醇的敏感特性。结果表明，钯掺杂ZnO传感器比纯ZnO传感器具有更好的气体敏感性能。基于钯掺杂梭形ZnO的敏感元件在275℃对乙醇有较好的选择性、较高的灵敏度和较快的响应恢复特性。最后，以六水硝酸锌酸锌和氢氧化钠为出发原料，采用低温水热法制备了分等级自组装氧化锌(ZnO)纳米材料。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）对所制备的ZnO的晶体结构、表面形貌与组成进行了表征。考察了这种分等级纳米结构ZnO在150℃下，对9种不同气体的响应情况。结果表明，基于这种分等级结构ZnO的传感器在150℃下对10ppm H2S表现出较好的选择性与较高的灵敏度。本论文通过以上的科研工作，研究了在水热条件下，ZnO材料的生长规律，考察了表面形貌对于气敏特性的影响，说明可以通过对表面形貌的控制，实现高性能的基于半导体氧化物传感器的制作。