薄膜制备技术的不断发展，使得制备高质量薄膜与复杂结构的微器件成为可能。多铁性磁电材料同时具有铁电性、铁磁性和磁电效应等多种性能，其多种有序参数共存使得新功能新器件的设计变得可能。磁和电有序之间存在的交叉耦合，使得能够利用磁场控制铁电极化，相反地可以利用电场操控磁极化，因而使得多铁性磁电材料具有很大的潜在应用价值。近年来，随着人们对多铁性磁电薄膜材料研究的深入，使得多铁性磁电材料极有可能应用于新型的存储器以及磁传感器等领域。利用溶胶-凝胶法制备的薄膜中普遍存在残余应力。从退火温度冷却到室温时，热失配会导致薄膜产生热应力。当应力过大时，甚至有可能使得薄膜表面出现裂纹，从而对薄膜的性能造成严重的影响。利用拉曼光谱和有限元分析了单相钴铁氧体（CoFe₂O₄,CFO）薄膜以及CoFe₂O₄/Pb(Zr_0.52Ti_0.48)O₃（CFO/PZT）复合薄膜结构中的应力状态。退火温度为700°C时，单相CFO薄膜受到压应力约为1.77GPa;CFO/PZT复合薄膜中CFO层受到的压应力约为1.9GPa，而PZT层受到的热应力约为0.25GPa。由于CFO具有很大的磁滞伸缩效应且PZT具有很大的压电效应，因而由钴铁氧体和锆钛酸铅构成的多铁性层状复合薄膜CFO/PZT具有很大的磁电效应。本文首先利用溶胶-凝胶法，研究了不同热解温度、退火温度、厚度的钴铁氧体薄膜的磁性能；并研究了不同退火温度、沉积顺序的CFO/PZT层状复合薄膜的性能。利用拉曼光谱的分析表明CFO和PZT的沉积顺序不同会导致复合薄膜中的应力状态不同，从而对其磁电性能影响显著。制备的复合薄膜具有良好的铁磁性能，但由于某些因素的制约，其铁电性能不理想。