【摘 要】
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随着光纤通信和集成光电子学的发展，掺铒光波导放大器成为光纤通信与光电子学领域研究的热点。光波导放大器的开发需要光波导薄膜材料的研制。 本文探讨了Er~(3+)-Al_2O_3 光波导薄膜制备的离子束增强沉积工艺和Er~(3+)-TiO_2、Er~(3+)-SiO_2、Er~(3+)-TiO_2／SiO_2薄膜、玻璃制备的溶胶-凝胶工艺。 对离子束增强沉积工艺...
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随着光纤通信和集成光电子学的发展，掺铒光波导放大器成为光纤通信与光电子学领域研究的热点。光波导放大器的开发需要光波导薄膜材料的研制。 本文探讨了Er~(3+)-Al_2O_3 光波导薄膜制备的离子束增强沉积工艺和Er~(3+)-TiO_2、Er~(3+)-SiO_2、Er~(3+)-TiO_2／SiO_2薄膜、玻璃制备的溶胶-凝胶工艺。 对离子束增强沉积工艺
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