本文研制一种基于两点法的激光光束质量分析检测系统,该系统可针对小功率、小发散角的激光器,进行精确检测。本文对激光光束质量分析理论及高斯光束的特性进行阐述,通过对比分析传统检测方法,提出了一种基于两点法的激光光束质量分析检测方法,对测量原理进行理论推导,并据此进行了检测系统方案设计。系统采用CCD器件作为检测的主探测器,为实现远场发散角测量,专门设计了增程组件。采用偏振片进行光强度衰减,可以针对不同产品的激光功率密度进行连续调节,保证CCD既有较高的输出又不至于饱和。采用光栅尺测量两点的位置差,提高了位移检测精度。设计了偏振片和CCD相机运动的伺服结构,综合运用莫尔条纹计数、精密螺旋传动、蜗轮蜗杆传动、电机步进控制等技术,实现了精确运动控制。上位机软件采用面向对象的程序设计软件进行开发,实现CCD光斑数据和光栅位移数据的采集、处理、计算及分析,并对步进电机进行控制,界面直观友好。经实验验证,系统精度较高、测量速度快、自动化程度高。