高性能谐振腔增强型(RCE)光电探测器中若干重要问题的研究

来源 :北京邮电大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户:zyr2007
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本论文围绕任晓敏教授任首席科学家的973计划项目(No:2003CB314900),教育部“新世纪人才支持计划”(NCET-05-0111)和国家自然科学基金资助项目(N0:60576018)展开。通信带宽需求的不断增长推动了光通信技术的飞速发展,波分复用技术作为光通信骨干网的支撑技术获得了人们的极大关注。解复用接收器件是波分复用(WDM)系统中的一个关键器件。目前普遍采用的解复用接收器件由“解复用器/滤波器+探测器”组合而成,这种分立方式存在很多缺点。谐振腔增强型(RCE)探测器同时具有波长选择和吸收的功能,作为波分复用(WDM)光通信中的高性能、低成本的新型解复用接收器件得到了广泛的关注。WDM系统对解复用接收技术有很高要求。经过不断发展,RCE光电探测器满足了一部分要求:波长分辨率高,光电响应度高,偏振无关,结构紧凑等。还有一部分要求没有得到很好满足,例如对调谐性能和通带特性的要求。因此,需要进一步研究RCE探测器以满足WDM系统对解复用接收器件的需要。以下是论文工作的主要成果:1、研究RCE PD中的关键功能部分——分布布拉格反射(DBR)结构,讨论了由DBR作为反射镜的F-P腔的滤波特性。多个F-P腔相连构成了多镜腔滤波器。与单纯的DBR结构相比,新结构的透射谱具有新的特性,利用这些特性,可以实现多通道滤波和平顶陡边形状的透射谱。2、为使RCE PD具有良好的调谐特性与通带特性,根据多镜腔滤波器的特性设计了新型的平行镜腔RCE探测器。新型探测器可大范围调谐并具有平顶陡边的通带特性。3、为了制备具有更细微图案的微结构电极,解除光刻条件对电极图案的限制,进一步提高RCE PD的响应速度,研究了阳极氧化铝膜板的实验制备,在硅基片上制备出了规则孔洞的氧化铝膜板,孔径范围15-35nm,孔间距范围50-60hm,孔密度每平方微米200-400个;在镓砷基片上制备出条纹状氧化铝膜板,条纹宽度约60nm,间距约60nm。
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