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微进给系统是精密加工和超精密加工装置和机床的关键部件,其进给精度决定精密加工和超精密加工的精度,而系统进给精度取决于微进给系统的控制精度以及微进给机构的进给精度。双驱控制是在单自由度方向上控制两个驱动器共同驱动构件运动的方式,针对精密和超精密加工中的进给运动,应用双驱控制技术能有效简化传动机构,提高加工精度。本文针对精密加工和超精密加工过程中的微量进给运动,将双驱控制技术与微进给技术相结合,通过完成系统总体方案设计、关键器件选型、硬件系统搭建、相关数学模型建立与仿真以及控制系统软件开发,设计基于双驱