FCVA辅助ECR源制备DLC/CNx复合膜的研究

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【摘要】

：

CN_x是一种新型的氮化碳膜,DLC/CN_x复合膜是对传统四面体非晶碳(ta-C)保护膜的拓展和创新。磁过滤阴极真空弧(Filtered Cathod Vacuum Arc, FCVA)是一种沉积高质量薄膜的方法,电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance, ECR)能提供高离化率的等离子体源,采用这两种方法结合制备DLC/CN_x复合膜在国内的研究很少。本研究通过改

【作者】

：

周鸿飞

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2009年06期

【关键词】

：

CN_x薄膜 DLC/CN_x复合膜超薄保护膜拉曼光谱 X射线光电子能谱俄歇电子能谱

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