【摘 要】
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接触式探头作为微纳米三坐标测量机的主要组成部分之一,对测量机的测量精度有重大影响。铍青铜簧片作为接触式探头的关键元件,其加工精度直接决定了探头的测量精度和适用性。为了解决铍青铜簧片加工精度低、加工成本高以及难以加工复杂图案簧片等问题,本文完成了以下主要工作:1.对国内外接触式探头弹性机构的研究现状进行了总结,对簧片制造工艺进行了总结。2.基于铜与过硫酸钠溶液的化学反应原理,详细介绍了化学蚀刻法加工
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接触式探头作为微纳米三坐标测量机的主要组成部分之一,对测量机的测量精度有重大影响。铍青铜簧片作为接触式探头的关键元件,其加工精度直接决定了探头的测量精度和适用性。为了解决铍青铜簧片加工精度低、加工成本高以及难以加工复杂图案簧片等问题,本文完成了以下主要工作:1.对国内外接触式探头弹性机构的研究现状进行了总结,对簧片制造工艺进行了总结。2.基于铜与过硫酸钠溶液的化学反应原理,详细介绍了化学蚀刻法加工铍青铜簧片的八个步骤及其注意事项。3.设计并进行了田口实验以寻找最佳工艺参数,经过信噪比计算、平均值分析
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