【摘 要】
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流量测量是人们了解和控制流体的一种重要手段,在工业生产和过程控制中占有重要地位。随着微电子工艺和MEMS技术的日趋成熟,医学、制造、分析仪器和分子生物学等领域在微全分析系统中应用的快速发展,人们对于流体流量的测量和控制要求越来越高。使用MEMS微加工工艺制作的微流量传感器具有功耗低、成本低、结构简单、检测灵敏度高的特点,得到广泛关注。本文研究了基于测热式(Calorimetric)原理的微流量传感
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流量测量是人们了解和控制流体的一种重要手段,在工业生产和过程控制中占有重要地位。随着微电子工艺和MEMS技术的日趋成熟,医学、制造、分析仪器和分子生物学等领域在微全分析系统中应用的快速发展,人们对于流体流量的测量和控制要求越来越高。使用MEMS微加工工艺制作的微流量传感器具有功耗低、成本低、结构简单、检测灵敏度高的特点,得到广泛关注。本文研究了基于测热式(Calorimetric)原理的微流量传感器(热温差式)的系统设计、加工及封装,具体的工作包括:1.利用COMSOL多物理场模
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