当材料颗粒尺寸为微纳米量级时，材料的力学性能会因此而变化，故很有必要从微观的角度去研究材料的力学性能。而本文针对不同晶粒尺寸的多晶铜和不同晶粒取向的单晶铜进行压痕测试从而获得不同晶粒尺寸材料的力学性能。研究表明，多晶铜的硬度值随着压深表现出明显的尺寸效应，而模量随着压深变化不是很大。对于不同晶粒尺寸的多晶铜，材料的硬度和弹性模量也是不同的。随着晶粒尺寸的增大，材料的硬度和模量值是先增大后减小。单晶铜也显示出明显的尺寸效应，在同一深度处(110)方向的硬度要高于(100)方向。但是随着压入深度的不断增加，两者硬度差逐渐减小，最后趋于一致。此外，单晶铜的硬度和模量都普遍低于多晶铜。本文还探索了纳米压痕和EBSD技术相结合的方法，对材料压痕处进行分析，获得该压痕区域的取向值。