【摘 要】
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非球面光学零件具有矫正像差、改善像质、扩大视场和增大作用距离的优点,同时还能够减轻系统重量,减小空间,因此在现代光学系统中得到了越来越广泛的应用。干涉法是高精度光
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非球面光学零件具有矫正像差、改善像质、扩大视场和增大作用距离的优点,同时还能够减轻系统重量,减小空间,因此在现代光学系统中得到了越来越广泛的应用。干涉法是高精度光学非球面检测的一种主要方法,本文结合非球面特性,分析现有的各种非球面检测方法,确定非接触式干涉法测量卡赛格林系统高精度二次曲面。结合具体的测试实例,详细分析两种不同干涉法(无像差点法和补偿法)的原理、检验光路、误差精度分析等。完成了刀口阴影法面形检测光路搭建、无像差点法检测、补偿透镜设计等工作的研究,并利用干涉法完成凹抛物面和凸双曲面面形测量。
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