激光扫描检测系统是一种非接触式测量系统,在测量时不会对被测物体造成影响,非常适合对高温、易变形、移动或振动的物体进行动态测量,在各种需要进行精密检测的领域内广泛应用。本文详细讨论了该系统涉及到的相关技术,介绍了它的总体构成,分别阐述了各个子系统的工作原理。利用FPGA内部集成锁相环,核心频率可以倍频至几百兆的优点,设计了高频脉冲计数器并利用FPGA分频产生稳定的脉冲驱动扫描电机。克服了传统计数器计数不准确以及传统方式驱动同步电机时的不稳定性,使整个检测系统测量的精度更高。同时也对各个子系统进行了设计并进行整体的装配调试。本文分别从机械系统、光学系统和电控系统的误差出发,讨论了它们对整个激光扫描检测系统测量精度的影响,并对影响较大的误差做了控制与修正。经实验验证本系统测量范围在0.1～20mm,重复精度在±2μm以内,满足设计要求。