KDP作为一种优质的非线性光学晶体，在惯性约束聚变固体激光驱动器、强激光武器和核武器设备等激光和非线性光学领域都具有广泛应用，但由于其具有软脆、易潮解、对温度变化敏感等特点，给高质量的加工要求带来了极大的困难，目前被公认为最难加工的光学零件之一。为了探索软脆功能晶体材料KDP的超精密加工新方法，本文从KDP晶体易潮解的性质出发，研究晶体潮解的机理，并在此基础上试验用不同的加工方法加工晶体，分析比较各工艺条件对加工表面质量的影响。本文首先通过模拟不同的温湿环境，观察KDP晶体在各种环境中的潮解情况，用拉曼散射光谱方法分析了潮解后生成产物成分，用X射线衍射的方法分析了产物晶体类型，用高倍三维光学显微镜观测了晶体潮解后微观三维形貌，在总结大量潮解情况基础上，给出潮解程度的衡量指标。结果表明，KDP晶体在一定的潮湿空气中发生潮解，潮解初期以潮解点的形式存在，潮解过程属于物理溶解过程，不发生化学反应，潮解后晶体表面产物是KH₂PO₄盐，这些潮解点是由析出的不同方向的单晶堆积而成的圆形小凸包，直径约几微米甚至十几微米，高度约1微米，而严重潮解后会在晶体表面产生不规则形貌的腐蚀坑。其次，以温度、相对湿度和表面粗糙度为参考变量，进行单因素试验，研究其对晶体潮解速率的影响，结果表明，当相对湿度达到临界值后晶体发生潮解，随着温度和相对湿度的升高，潮解速度加快，而且有越来越快的趋势，表面质量越差的晶体，越会先发生潮解。最后，基于材料溶解的原理进行晶体材料加工新方法的探索，分别采用去离子水、酒精和二氧化硅混合溶胶为抛光液抛光晶体，比较工艺参数变化对材料去除率和加工表面质量的影响，并从理论上对化学方法抛光晶体的试验可行性进行了分析。结果表明，用去离子水进行抛光时材料去除率大，十分喜人，但表面质量不高，用现有的加工条件能得到表面粗糙度约为50nm的晶体，但通过改善试验条件，有提高表面质量的可能性。而用酒精和二氧化硅混合溶胶为抛光液进行抛光时，发现加工后的晶体表面粗糙度可达5nm，说明此法加工软脆晶体时可行。