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滑阀副为高精度电液伺服阀常用的液压功率放大级,因其流量增益远大于伺服阀中其他放大环节,其制造精度也有较高的要求。滑阀副通过阀芯轴向位移改变节流窗口大小控制流量输出,因而阀芯棱边及阀套方孔的轴向配合尺寸,即滑阀副的叠合量便成为滑阀副制造工艺中的关键指标。叠合量是滑阀各棱边的配合尺寸,公差通常为1μm不能互换,生产中都采用偶件配做的方式保证。从而使得滑阀副的配磨测量成为保证叠合量公差的关键。由于气动配磨测量在大流量滑阀副测量中,因气体可压缩性等因素产生的原理性误差增大,不能满足生产要求,故有必要对大流量