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作为航空发动机的核心热端部件,涡轮叶片由于长期处于高温极端环境中极易被损坏,因此有必要对涡轮叶片的温度进行控制和检测。为了准确测量涡轮叶片的实时温度,在其表面制备了铂(Pt)薄膜热电阻温度传感器。与传统测温方式相比,Pt薄膜热电阻具有易集成、体积小、灵敏度高、测温范围广、相应时间短、抗振性能强等优势被广泛用于温度测量中。为了在Ni基高温合金涡轮叶片表面制备强附着力、高性能的薄膜热电阻,本文设计了一种具有多层膜结构的温度传感器,包括:过渡层、热生长氧化层(TGO层)、绝缘层以及Pt薄膜功能敏感层。并采