【摘 要】
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垂直腔表面发射激光器(VCSEL)相比于传统的边发射激光器(EEL)具有低阈值电流和高速直接调制等优点,然而VCSEL中电子阻挡层(EBL)存在的极化效应增加了最后一层量子势垒(LQB)和
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垂直腔表面发射激光器(VCSEL)相比于传统的边发射激光器(EEL)具有低阈值电流和高速直接调制等优点,然而VCSEL中电子阻挡层(EBL)存在的极化效应增加了最后一层量子势垒(LQB)和EBL界面处的电子累积以及降低了 EBL导带的有效势垒高度,从而加剧了电子的泄漏,降低了光输出功率。本文提出了两种EBL设计方案成功的抑制了电子的泄漏。第一种方案采用p型组分渐变AlxGa1-xN替代传统GaN基VCSEL中LQB和EBL的方法,使光输出功率提高了 8.3%。第二种方案采用p型组分渐变AlxGa1-xN替代传统GaN基VCSEL结构中LQB的方法,使光输出功率提高了 70.6%。
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