移相技术是当前光学件波面检测的重要技术方法,按移相方式可分为硬件移相技术和波长移相技术,其中以压电陶瓷实现移相为代表的硬件移相技术和干涉仪在实际生产应用最为广泛。而利用光源波长的改变来实现移相的波长移相技术,相对于传统的硬件移相技术,有其独特的特点,表现在:激光器既是光源又是移相器;移相值与被测轮廓相关等。平行平板的测量在光学检测和光学加工中有很重要的应用,但是在平行平板的测量中,由于前表面与参考面之间,前后表面之间和后表面与参考面之间干涉的干涉条纹重叠,运用传统的移相干涉术测量存在很大误差。因而本课题的研究对于平行平板的面形及平行度测量有重要意义。概述了移相技术的发展状况,并总结了传统硬件移相技术的特点和波长移相技术的优缺点,阐述了进行波长移相技术研究的必要性和意义。深入研究了加权多步波长移相干涉测量的原理,阐述了算法的思想、设计理论和具体设计过程。搭建了波长调谐干涉仪测量平行平板的实验系统,采集了波长移相多幅干涉图。编写程序对干涉图进行傅立叶变换得到干涉相位,通过计算后得到平行平板的参数。将测试结果与常用的抑制平行平板后表面反射测试方法进行比较,验证了算法的正确性。