随着电子、光学、通讯、生物工程、航空航天等高新产业的发展,对越来越多的复杂形状精密零件和精密电子元件的表面质量提出了更高的要求。近几十年来兴起的磁研磨加工法是一种非常有效的光整加工技术。该加工方法能够对微细表面和复杂的凹凸面进行有效的研磨,适用于圆管的内外表面加工以及去毛刺处理。它具有高精度、高表面质量、低成本,以及易于实现自动控制等优点。平面磁研磨法是磁研磨外表面加工的一种,它以平面为加工对象,利用游离磨粒对工件表面进行研磨加工。本文利用磁刷式磁研磨方式,针对SUS304不锈钢板进行光整研磨加工,为了全部去除加工前平面上残留的加工痕迹,着重对粗加工阶段时的磁性砥粒和非磁性砥粒以及粗加工时间的选择进行了实验分析。同时,通过设计了新型磁极头,并对比了三种不同磁极头对加工特性的影响。在精加工和超精密加工阶段,安排了适当的磁性砥粒和非磁性砥粒,得到了超精密平面。