基于原子力显微镜的纳米梁谐振器振动特性的测试技术研究

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【摘要】

：

NEMS动态测试技术是NEMS测试技术的重要组成部分,对NEMS技术的发展具有重要的研究意义。论文分析了NEMS器件动态测试技术的研究现状,以一种重要的NEMS器件—纳米梁谐振器为测试对象,采用原子力显微镜(AFM)作为测试平台,开展了NEMS器件振动特性测试技术的研究,对纳米梁谐振器的动态特性进行了评价和表征。论文主要完成了以下几个方面的工作:1、阐述了NEMS器件的特点和应用,讨论了NEMS器

【作者】

：

邱晗

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2009年06期

【关键词】

：

纳米梁谐振器多功能原子力显微镜计量型原子力显微镜显微激光多普勒振动测试轻敲扫描轻敲力曲线

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