在全球经历了几次环境、技术和社会变化后,企业意识到更经济、更环保、更负责任的供应链可以拥有更好的企业绩效,可持续供应链应运而生。绩效评价的好坏反映了可持续供应链的运营情况,绩效评价有助于企业发掘自身运营的优缺点,优化企业生产资料配置,降低资源浪费,缓解社会压力,使企业在经济、社会、环境三方面实现平衡发展。我国半导体企业在供应链结构设计阶段投资巨大,生产物流阶段主要面临着产品技术落后、过分依赖进口、水电能耗大、危废污染、人工安全等一系列问题,供应物流阶段主要面临着库存率较高、仓储压力太大、难以保障快速准时交货及物流系统灵活性与无缝供应链衔接等问题。有鉴于此,本文以半导体上市企业为例,基于三重底线（TBL）理论和可持续发展的基本构成要素,从经济、社会、生态、资源四个维度出发,构建了可持续供应链绩效评估指标体系,以考虑非期望产出超效率SBM-DEA模型对半导体企业可持续供应链绩效评估进行了研究。本文主要的研究任务如下:（1）基于三重底线理论和可持续发展的基本要素,构建了可持续供应链的绩效考核指标框架。本文在分析国内外文献基础上,首先从经济、社会、生态、资源四个维度出发,构建了一套包含62项指标的企业可持续供应链绩效考核指标体系。研究发现四个维度指标之间有一定相关性,经济维度下的各个指标之间会互相影响,也可能会影响社会维度和生态资源维度下的指标。其次,为使指标能充分反映各维度的效益,避免指标之间相关性,本文运用灰色关联（GRA）分析及秩（R）相关法,筛选出最具代表性指标,最终构建出包含37项指标的半导体企业可持续供应链绩效评价指标体系,研究为解决指标体系间相关性提供新思路,同时构建出的可持续供应链绩效评价指标体系相较以往研究更加全面。（2）依据可持续供应链绩效评价指标体系,构建非期望产出超效率SBM-DEA模型,对半导体企业进行绩效评价研究。首先构建出半导体企业的投入及期望产出、非期望产出指标,通过计算规模不变（CRS）和规模可变下（VRS）的绩效值,得到企业绩效排名及规模收益状态,其次,根据各企业决策单元的松弛变量改善其投入产出指标,进一步采用刀切法（Jacknife）依次研究非期望指标对可持续供应链绩效影响程度。研究显示半导体企业可持续供应链需根据绩效评价结果合理调整投入、产出指标。此外,绩效评价结果显示考虑非期望产出的可持续供应链绩效水平要优于不考虑非期望产出的可持续供应链绩效水平,固体废弃物治理率和废水排放强度是制约可持续供应链环境绩效的主要因素,与可持续供应链经济绩效影响关系最密切的是生产研发成功率,与社会绩效最密切的是客户投诉能力和每年发生的事故数。研究结论有利于半导体企业准确找到阻碍其可持续供应链发展的要素,同时针对生产过程中的投入产出要素进行合理配置,优化企业生产资源,间接提高半导体企业市场竞争力。