射流盘是偏转射流伺服阀中的关键部件,其加工质量的好坏,影响着整阀的工作性能。因此,在其使用之前,需要对射流盘的相关尺寸进行严格的检测。本文针对射流盘基本尺寸及形位公差的检测方法展开研究,采用光学显微检测的方法对其加工质量进行自动检测。整个显微检测实验系统由图像采集装置、光学放大装置、照明设备与检测控制软件四部分组成。本文通过对显微检测的实现原理与求解方法的研究,设计了相应的实验系统,并根据组件参数的选取原则,确定了实验系统的各个参数。还对图像处理与检测方法等CCD显微检测的关键技术进行了的研究。通过对检测软件的设计,验证了图像的处理与检测方法。现此实验系统已实现了摄像头的控制、图像的处理与计算以及检测结果的输出。此外,在对图像处理技术进行深入研究的基础上,本文还提出了“大块去噪”、“矩形拟合法”、“软件定位法”以及“多直线捕捉”等多种图像处理方法,用以提高检测的精度与稳定性。本文还针对检测过程中影响系统稳定性的因素进行讨论,其中包括调焦清晰度、光学畸变、光源以及直线拟合等影响因素,针对这些因素,对误差进行了修正和补偿,并通过实验验证,本检测方法能够实现射流盘基本尺寸及形位公差的检测功能,重复性误差小于±0.5μm。为增强通用性,本文对显微检测方法进行了深入的研究。目前,本检测方法除了能够完成射流盘的检测之外,还能实现通用尺寸检测,手动粗测以及位移检测等,使CCD光学显微检测方法的功能更加完善。