科技进步与技术创新是促进一国经济发展的重要力量。高技术产业不仅有助于产业结构的优化升级，提高经济的效益。而且，它以集群化的发展方式也逐步成为了促进区域经济发展的重要源泉。随着高技术产业集群的迅猛发展，集群竞争力日趋增强，对经济增长的影响作用也不断增加。这种高水平人力、高财力的投入，是否促进了经济增长并且产生较高的经济效率，是研究的焦点问题。因此，对高技术产业的资源投入产出效率进行分析，即全要素生产率研究十分重要。　　首先，通过对高技术产业集群相关概念及发展特点的分析，并依据高技术产业集群自身特征和发展规律，设计了高技术产业集群竞争力评价指标体系；基于对指数功效函数法的改进，构建了高技术产业集群竞争力的评价模型。并综合主观和客观确权的优缺点确定权重，得出综合评价值。　　其次，用基于DEA的Malmquist指数分析法测算了京津冀的高技术产业全要素生产率。并将全要素生产率分解为技术进步和技术效率两方面进行分析。　　再次，基于Eviews软件对京津冀高技术产业集群竞争力与全要素生产率关系进行了研究。先通过格兰杰因果检验，确定两者关系；再通过建立VAR估计模型，确认了集群竞争力增长率与全要素生产率的长期关系。并做脉冲响应分析及方差分解，得到了竞争力增长率对全要素生产率的短期影响效果图及贡献程度图。　　最后，根据Eviews检验结果，参考新古典增长模型分析方法对京津冀区域的高技术产业集群竞争力与全要素生产率函数关系进行了假设，采用MATLAB软件的Gaussian曲线拟合分析，得到两个变量的关系轨迹图，进行了假设检验。得出京津冀区域的高技术产业集群竞争力的增长对全要素生产率存在促进作用，但边际效应递减，最终趋于稳态。基于分析结果提出了相应的建议。