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随着电子工业的飞速发展,晶片的应用范围越来越大,晶片加工技术也越来越受到重视,它反映出一个国家IC制造业的规模和工艺水平。多线切割是切割大直径硅单晶棒非常有效的方法之一,但其伺服进给一般采用旋转电机+滚珠丝杠方式,本课题采用的直线电机可消除旋转电机由旋转运动到直线运动的机械传动链的影响,具有更高的动态响应能力和优良特性,是当前的一种发展趋势。现代数控系统要求伺服控制向高精度、高速度方向发展,以适应生产的需要,这就要求必须提高伺服系统的控制精度。本文在对线切割机工作台单轴直线伺服系统的进给