传统的半导体激光器受到光学衍射极限影响,导致其器件特征尺寸已经到达极限。然而,基于表面等离子体的纳米激光器可以将谐振腔尺寸压缩至深亚波长量级。该激光器在生物探测,数据存储,医疗器械,军事应用等领域有着重大的实用价值,已经成为国内外研究焦点之一。本论文主要由以下几部分内容构成:本论文简要介绍了纳米等离子体激光器研究背景、意义。并从纳米激光器与纳米等离子激光器两个方面分别阐述了国内外研究发展现状,表明了目前激光器研究存在的问题。其次描述了基于金属膜/介质膜/纳米线结构的纳米等离子体激光器基本原理以及发光机制,并对此结构进行了模拟仿真。同时论文依据几何光学原理设计了微透镜阵列,用以提升激光器激光发射性能。论文还详细研究了氧化锌纳米线阵列制备工艺并通过扫描电子显微镜对其形貌结构进行观察和表征,然后通过三种不同镀膜方法探究了制作基于表面等离子体的纳米线谐振腔工艺,并设计制作了微透镜阵列以解决纳米激光器光束发散的问题,最终通过工程设计将激光器加工封装成完整器件。通过光、电泵浦对加工封装好的激光器进行了激光发射性能测试。分别对纳米激光器以及纳米等离子体激光器进行了光致激光发射性能测试,并进行了分析对比。利用SEM-EBIC测试系统,研究了氧化锌纳米线阵列样品的p-n结整流特性。进而测试了电泵浦下纳米激光器的激光光谱、电流-输出功率曲线及偏振特性等光学性能。同时研究了在纳米激光器上增加微透镜阵列前后的激光发射性能,验证了微透镜阵列的激光光束准直特性。最后总结了本论文的贡献,并针对国内外发展趋势以及目前存在的不足展望了纳米等离子体激光器下一步研究工作。