垒层厚度和掺杂调制对InGaN/GaN基LED性能影响的研究

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宽禁带、直接带隙半导体材料GaN,被广泛应用于光电子器件中。InGaN/GaN多量子阱结构作为GaN基LED的核心部分,也成为当前半导体光电领域研究的热点。目前,业界在InGaN/GaN多量子阱的材料质量和发光效率上已经取得了较大进步,但是大电流下量子效率下降现象严重,仍然是阻碍GaN基LED发展的重要因素。本文借助于模拟专用软件Crosslight-APSYS软件、基于二维有限元的理论分析方法,对InGaN/GaN基蓝光LED器件的外延结构进行了设计和优化,有效改善了InGaN/GaN多量子阱区载流子的输运,使大电流下量子效率的下降得到衰弱。本论文的结论主要有以下几点:  1.对量子阱垒层宽度不同的InGaN/GaN基蓝光LED结构进行了仿真计算。计算结构表明:当量子阱垒层厚度改变时,有源区的静电场特性会随之发生明显的改变。垒层厚度增加,其中的静电场减弱;垒层厚度减小,其中的静电场加强。采用沿生长方向厚度宽窄交替的垒层结构,能够改变量子阱区静电场的强弱和方向,有效调节电子和空穴的输运,提高LED的发光效率。  2.对量子阱垒层掺杂情况不同的InGaN/GaN基蓝光LED结构进行了仿真计算。计算结果表明,在垒层中适当掺入Si,量子阱区的静电场会减弱,量子局限斯塔克效应被部分屏蔽,能带弯曲程度随之减弱,载流子的输运情况明显改善。此外,在量子阱区选择适当的垒层进行部分Mg掺杂,可以减弱与之相邻的阱层中的静电场,将更多的载流子限制在阱层中,有助于提高电子和空穴的辐射复合。  3.根据以上结论,对本论文新提出的一种由厚度调制的n/p型GaN垒层LED器件结构进行了仿真计算。结果表明:厚度宽窄交替、掺杂Si/Mg交替的量子阱垒层结构,可有效屏蔽量子阱区的量子局限斯塔克效应,同时减弱Si掺杂垒层对空穴输运的阻碍作用,提高量子阱区中电子和空穴分布的对称性和均匀性,增加量子阱区发生辐射复合的有效面积,消除EBL对于空穴注入的影响,修正波长的红移现象。
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