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随着科学技术的发展,精密和超精密驱动机构在精密制造、超精密加工、生物工程、医疗机械和芯片制造等领域应用越来越广泛,新型的驱动方式正逐步成为研究的主流。由于压电驱动器具有反应速度快、定位精度高、不受电磁干扰等优点,因而成为近年来构造精密驱动装置的重要方式。本文主要研究以压电双晶片作为驱动元件,由三角放大机理构造的柔性铰链机构作为位移输出的微位移放大机构。首先介绍了精密驱动机构的应用、分类以及实现方式;并对压电驱动的基本理论和微位移放大机构的设计基础做了论述,阐述了压电陶瓷驱动器的工作原理、