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纳米结构的研究,在当今科学技术发展前沿中属于热门研究领域。硅微纳米结构在纳米材料领域是重要学科之一。目前,硅微纳米结构具有十分重要作用,其凭借优越的物理化学特性、光电学特性、热稳定性以及表面特性等引人注目。现在制备硅微纳米结构的方法众多,金属辅助化学蚀刻法(Ma CE)因其独特的优点,成为目前制备硅微纳米结构的主要方法之一。Ma CE制备硅纳米结构的过程实质是在化学反应体系中刻蚀单晶硅,但是化学反应内部变量参数(例如,贵金属类型和形貌、刻蚀剂、Si基底的内在特性、温度和光照等)之间的关联性、相互制约