【摘 要】
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该文利用自组织技术,在硅基上制备多孔氧化铝薄膜.将其作为掩模和模板制备了注Ge硅基SiO纳米岛蓝紫光发光列阵和发光纳米硅颗粒结构.分叉氧化铝纳米管的发现为硅基纳米集成器
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该文利用自组织技术,在硅基上制备多孔氧化铝薄膜.将其作为掩模和模板制备了注Ge硅基SiO<,2>纳米岛蓝紫光发光列阵和发光纳米硅颗粒结构.分叉氧化铝纳米管的发现为硅基纳米集成器件提供了新颖的模板.利用硅基多孔氧化铝膜的掩模作用,我们制备了硅基SiO<,2>纳米岛列阵以及注Ge硅基SiO<,2>纳米岛蓝紫光发光列阵.根据i-t实验曲线,监测硅基多孔氧化铝的生长过程,使得硅衬底参与反应,从而获得硅基SiO<,2>纳米岛列阵这一有序纳米结构,为硅基光电子器件提供了雏形.简要介绍了电子束沉积结合Xe离子轰击的方法,在硅基多孔氧伦铝模板中制备了硅纳米结构,并得到黄绿光发射.
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