Al掺杂GZO薄膜的光电性能及残余应力研究

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【摘要】

：

本论文为了研究不同实验条件下制备的Al掺杂GZO薄膜(以下均简称AGZO薄膜)的光电性能及残余应力等参数,通过磁控溅射的实验方法,运用两块靶材共溅射的方法,利用Al靶和Ga2O3:ZnO靶(以下均简称GZO靶)同时向玻璃基片上溅射,制备出不同Al靶溅射时间下、不同Al靶溅射功率下、不同GZO靶溅射功率下的AGZO薄膜样品,并对不同Al靶溅射时间下、不同Al靶溅射功率下制备的AGZO薄膜样品进行了真

【作者】

：

刘结

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2016年01期

【关键词】

：

AGZO薄膜光电性能残余应力退火

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