自2012年以来有机无机杂化钙钛矿太阳电池效率不断提高,目前报道的最高认证效率已达到22%以上。但是钙钛矿太阳能电池同样面临着诸多问题,如:电池的稳定性差、对氧气的敏感性、容易水解、以及很难制造大面积连续的钙钛矿薄膜等问题。有研究表明,外界环境湿度会对钙钛矿层的结晶产生影响。Spiro-MeOTAD（2,2’,7,7’-四[N,N-二（4-甲氧基苯基）氨基]-9,9’-螺二芴）是钙钛矿太阳能电池空穴传输层最常用的材料,是优良的P型半导体材料,具有较高的空穴迁移率(1×10^-51×10^-4cm²V^-1s^-1)。但是未经氧化的Spiro-MeOTAD层电阻率较高,一般需要氧化处理:把Spiro-MeOTAD旋涂后的空穴传输层放置在干燥的空气中氧化数小时、几十小时或过夜氧化,因此寻找快速氧化钙钛矿太阳能电池的方法具有重要意义。本文尝试采用等离子体快速处理制备高性能钙钛矿太阳能电池。我们采用电容耦合水氧等离子体处理钙钛矿太阳电池提高器件表面氧粒子的含量,促使Spiro-MeOTAD层氧化,提高载流子传输能力。实验得到在氧化时间为11s获得较好的器件性能与空气中氧化的钙钛矿太阳电池相比,其氧化时间大大缩短。适量的水等离子体放电可以促进钙钛矿层的结晶,得到更加致密均一的钙钛矿层,器件的稳定性不管在手套箱中还是在大气中都得到了大幅提高。经过水氧等离子体处理后,器件效率稳定在13%。该方法在钙钛矿太阳电池实际应用,尤其是工业化流水线生产中具有较大的应用价值。