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制备在绝缘硅上覆硅芯片且具备高宽比硅晶鳍的鳍式晶体管技术研发

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：onlinemaji

【作 者】

：

廖昱基 

【机 构】

：

华中科技大学

【出 处】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2017年期

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