【摘 要】
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压电陶瓷微位移器是近年发展起来的新型微位移器件,具有体积小,推力大,精度及位移分辨率高等特点。现已在航空航天,微电子,精密测量,生物工程,机器人及精密加工领域得到广泛
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压电陶瓷微位移器是近年发展起来的新型微位移器件,具有体积小,推力大,精度及位移分辨率高等特点。现已在航空航天,微电子,精密测量,生物工程,机器人及精密加工领域得到广泛应用。性能良好的驱动电源是PZT微位移技术得以广泛应用的前提。因此,PZT驱动电源控制技术已成为PZT微位移器应用技术的关键。本文的主要工作是结合国家自然科学基金(No.60372061)项目“超高速主动锁模光纤激光器真自启动及稳定性研究”和吉林省科学发展计划项目((2004)科技字(1271)号)“超高速主动锁模光纤激光器模式控制及稳定性研究”进行的,完成了具有良好动态响应特性的PZT驱动电路的制作。实验结果表明,对于包括噪声信号在内的20多种不同的输入信号,此驱动电路都可以实时、线性、几乎无失真地将输入信号放大到驱动PZT所需的电压。论文还针对驱动电路设计过程中的电磁兼容和PCB板的制作问题进行了讨论,并给出合理的解决方案。最后对当前存在的问题和未来的发展方向进行了探讨。
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