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霍尔器件是目前应用最广的一种磁性传感器,霍尔传感器与驱动电路集成是MEMS技术的一个重要发展方向。霍尔器件的材料、形状、工艺和接口电路等因素与灵敏度密切相关。本文通过研究影响霍尔效应的各种参数,确定提高MEMS霍尔器件工作区(霍尔片)灵敏度的方法,采用ANSYS软件模拟分析,确定长方形与圆形霍尔片的结构尺寸与霍尔器件灵敏度的关系,得出灵敏度达到最佳的优化模型。通过对比两种形状霍尔片灵敏度,确定最优的霍尔片模型。长方形霍尔片是选用率最高的霍尔片设计结构之一,本文采用ANSYS软