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磁控溅射装置中氩—电负性气体放电研究

来源 :辽宁科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Dark_tomato

【作 者】

：

吴川 

【出 处】

：

辽宁科技大学

【发表日期】

：

2017年01期

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