【摘 要】
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该论文主要研究溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制备GeO-SiO玻璃薄膜的工艺条件、光学常数的测量及光敏性的测量和分析.论文的主要内容有以下几点:1.对不同配比的GeO-SiO玻璃分别进行
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该论文主要研究溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法制备GeO<,2>-SiO<,2>玻璃薄膜的工艺条件、光学常数的测量及光敏性的测量和分析.论文的主要内容有以下几点:1.对不同配比的GeO<,2>-SiO<,2>玻璃分别进行了成膜实验,研究制备工艺.2.在硅片上提拉GeO<,2>-SiO<,2>玻璃薄膜,对其折射率和吸收系数进行了测量.3.测量了GeO<,2>-SiO<,2>薄膜的折射率和吸收系数随紫外光照射剂量的变化曲线,对玻璃中光敏性的产生机理进行了初步的探讨.4.对GeO<,2>-SiO<,2>玻璃薄膜的二阶光学非线性进行了测量和分析.
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