MEMS加速度计敏感信号读出电路及性能补偿系统研究

来源 :苏州大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户：qq669783

【摘要】

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【作者】

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王法亮

【出处】

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苏州大学

【发表日期】

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2018年01期

【关键词】

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扭摆式硅微加速度计电容检测电路噪声分析性能补偿

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