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微型元器件是微机电系统中的重要组成部分,并且在多种行业内得到了非常广泛的应用,因此微器件的工艺设计方法就显得至关重要。目前,微型元器件设计者在设计微器件的同时还需要掌握微器件的加工工艺,这样就使得微器件的开发周期变长、设计效率低下。要求微器件的功能设计者同时需要掌握大量工艺知识。伴随着设计理念的发展,产生了更为先进的“逆向”设计方法,即先创建MEMS器件的结构模型,再由模型推导出工艺信息,其关键就在于微器件的工艺分层和掩模的推导。为了从基础技术层面支撑这种设计思想,论文以微器件的三维模型为基础,利用