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三维扫描测头是坐标测量机、齿轮测量中心等精密量仪的重要组成部件,其测量精度对量仪的总体精度影响极大,而在决定三维测头测量精度的诸多因素中,其导向机构的精度又是最为关键的影响因素,因此对三维测头导向机构的导向精度进行深入研究具有较高的理论指导意义和工程应用价值。本文主要对三层楼式和并联式两种典型结构三维测头的导向精度进行了研究。对三层楼式结构中的平行簧片导向机构分别进行了理论分析和有限元仿真,研究了平行簧片导向机构的特征参数和应力、回复力及线性导向位移等之间的关系。分别建立了三层楼式测头和并联式测头的