【摘 要】
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该论文对微光刻领域中一些常用图形的生成方法和图形处理技术以及数据文件格式转换技术进行了研究并开发出一套实用化很强的图形处理软件.包括如下五个部分：实现微光刻图形处
【出 处】
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中国科学院微电子中心 中国科学院微电子研究所
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该论文对微光刻领域中一些常用图形的生成方法和图形处理技术以及数据文件格式转换技术进行了研究并开发出一套实用化很强的图形处理软件.包括如下五个部分：实现微光刻图形处理和数据格式转换的途径的分析.微光刻常见图形生成器的开发.微光刻图形特殊处理功能的开发.位图与AutoCAD数据格式转换模块的开发.开发自主的微光刻图形编辑软件环境.
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