VO₂涂层在一定温度条件下可发生结构改变,其红外特性也随之发生巨大变化。尤其在中红外波段（3μm⁵μm）最为显著。而此波段正是大多数激光武器以及光电探测系统的工作范围,针对该性能在激光限幅方面的应用前景,本文从VO₂涂层的制备入手,以提高涂层纯度及其激光限幅能力作为目标,开展仿真与实验研究。为调控涂层的性能,论文最后还根据制备的VO₂涂层进行了增透膜系设计以及掺杂研究。本文完成的主要工作如下:1、在对比分析了VO₂多种制备方法的基础上,确定了基于“磁控溅射+VO₂靶”的纯VO₂涂层制备方法,即选择VO₂靶作为靶材,使用射频磁控溅射方法沉积VO₂涂层再进行退火热处理。采用MATLAB仿真分析,得出满足“相变后透过率低于1%,相变前透过率高于85%”这一要求的激光限幅的膜厚范围为174nm⁴81nm。2、通过涂层制备工艺研究,获得了不夹杂其他价态氧化钒的高纯度的VO₂涂层。设计了正交实验,以VO₂涂层在2μm¹0μm的光学透过率为指标,优化了具有良好激光限幅性能的VO₂涂层的工艺参数,并采用XRD对工艺参数的影响机理进行了探讨。3、研究了溅射时间对氧化钒涂层厚度的影响,采用椭偏仪对涂层光学参数进行了检测,得到了VO₂涂层膜厚变化趋势以及涂层相变前后不同的折射率n和消光系数k。4、利用TFC软件对VO₂涂层的透过率随厚度的变化趋势展开了仿真研究,在此基础上选取厚度250nm的VO₂涂层进行了增透膜系设计,改善了VO₂涂层的激光限幅性能。使用1064nm的可调连续激光器对掺钨VO₂涂层的激光限幅性能进行了检测,结果表明,适量的钨掺杂可以使得VO₂涂层对更弱的激光具有限幅作用,但是掺杂量过少的情况下,并不会有明显效果。