集成电路产业是国家发展的重要支柱,不仅是国家战略性新兴产业,而且还具有极高的技术创新能力,对于推动国家经济和科技进步起着至关重要的作用。虽然我国集成电路产业起步较晚,但在国家的高度重视和有关政策的大力支持下,近年来我国集成电路产业取得了明显的技术进步,即使如此,仍与世界先进水平存在一定的差距。因此,为了进一步促进集成电路产业的技术进步和发展,我国持续推出税收优惠等相关政策,推动了集成电路产业的技术创新。而目前实施的税收优惠政策对集成电路产业技术创新的效果如何是一个值得深入探讨的重点问题。“十四五”规划和2035年远景目标中明确指出要提高集成电路等重要领域的关键核心技术,因此,本文首先通过界定税收优惠、集成电路产业、技术创新的概念,以外部性理论、技术创新理论、市场失灵理论为基础,初步探讨税收优惠对集成电路产业技术创新的影响。其次通过阐述集成电路产业现状与梳理现行集成电路产业税收优惠进行分析。再次采用OLS回归对选取的2012-2021年集成电路产业相关数据进行实证分析,验证税收优惠对集成电路产业技术创新的影响,结果表明增值税税收优惠和企业所得税税收优惠均能有效促进集成电路产业的人员投入、资金投入和创新产出。除此之外,根据集成电路所处产业链的不同,税收优惠对其实施力度存在差异,即增值税税收优惠对集成电路设计业、制造业和封装测试业的研发投入和创新产出均有促进作用,而企业所得税税收优惠对集成电路设计业和制造业的研发投入力度优于封装测试业并且对集成电路制造业的创新产出作用更加明显。根据集成电路企业所处地区的不同,进一步分析了税收优惠对集成电路产业技术创新的影响,结果表明增值税税收优惠显著促进了东部、中部和西部三个地区的研发投入和创新产出,企业所得税税收优惠对东部地区和中部地区的研发投入和创新产出的促进作用优于西部地区。最后提出现行税收优惠在促进集成电路产业技术创新中存在的问题,根据问题提出进一步完善税收优惠政策促进集成电路产业技术创新的建议。