【摘 要】
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微波等离子体技术具有极其广阔的应用领域，如等离子体增强化学气相沉积、等离子体表面处理以及等离子体刻蚀等。微波电源作为微波等离子体设备的核心，其输出功率的不稳定性将直接制约着微波等离子体技术的应用与发展，因而，研究高稳定输出的大功率微波电源是微波等离子体技术中的一项重要课题。磁控管是获取大功率微波能的主要电力电子器件，其特性类似于处在正交电磁场空间下的高频二极管。在实际应用中，由于磁控管的工作条件极
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微波等离子体技术具有极其广阔的应用领域，如等离子体增强化学气相沉积、等离子体表面处理以及等离子体刻蚀等。微波电源作为微波等离子体设备的核心，其输出功率的不稳定性将直接制约着微波等离子体技术的应用与发展，因而，研究高稳定输出的大功率微波电源是微波等离子体技术中的一项重要课题。磁控管是获取大功率微波能的主要电力电子器件，其特性类似于处在正交电磁场空间下的高频二极管。在实际应用中，由于磁控管的工作条件极为严格，若没有完善的控制方案，细微的阴极电压或阳极电流波动，都将造成磁控管输出功率的很大变化。
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