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随着便携式电子设备向高集成度、高复杂度方向发展,势必要求在更小的基片上集成更多的元器件。在电子设备中,电源占有最大的体积,其内部使用变压器和电感等磁性元件,因此不可能大幅度减小体积和重量。但是随着高频开关电源技术的发展,工作频率的提高使磁性元件的体积大为缩小。微型化变压器已成为减小电源系统体积的有效方法之一,是实现电子设备小尺寸、轻重量和高性能的关键之一,特别是由微型变压器构成的微型化DC-DC转换器件将广泛应用于各种便携式电子产品。因此研制性能良好的微型变压器已是国内外学者和电力电子研究人员需要解决的重要课题。本论文的目标是设计并制造一种基于MEMS(微机电系统)的以铁基非晶/纳米晶合金带材为磁芯的平面螺旋微型变压器。采用MEMS技术,包括光刻、刻蚀、溅射、微电镀等技术,成功研制了不同结构参数和磁芯材料的铁基非晶/纳米晶合金带材平面磁芯螺旋微型变压器。本文主要内容如下所述:(1)平面磁芯螺旋微型变压器模拟计算与分析建立器件分析模型,采用Matlab软件进行编程,对平面磁芯螺旋微型变压器进行模拟计算,并与实验结果相比较,以期待在未来的微型变压器设计上起到理论指导作用。(2)磁芯材料的性能测试分别对铁基非晶/纳米晶带材的磁导率和磁滞回线进行了测试。测试结果表明,经过高温退火的铁基纳米晶合金带材处理具有优异的软磁性能,为微型变压器的制作获得了高性能的磁芯材料。(3)平面磁芯螺旋微型变压器制作设计了整个平面磁芯螺旋微型变压器的MEMS制作工艺流程,并成功制备了铁基非晶/纳米晶平面磁芯螺旋微型变压器的原型样品。(4)平面磁芯螺旋微型变压器的测试对研制的微型变压器在1~10MHz范围进行了性能测试,其中,包括对微型变压器初级线圈的电感量Lp、Q值、交流电阻Rp,微型变压器初、次级线圈之间的互感量M和耦合系数k的测试和分析。