声表面波(SAW)是一种沿物体表面传播的弹性波。SAW技术是上世纪60年代末期才发展起来的一门新兴科学技术。利用半导体制作技术,光刻大批量生产,质量和一致性都非常好很好。因此SAW器件大量迅速进入工程领域,在雷达、通信、敌我识别、导航、和电子对抗等领域获得了广泛的应用。通信产业随着电子信息的发展更是高速发展,为SAW滤波器提供了更为一个广阔的市场空间,需求的支持上升带领产量的直线上升。移动通信中的射频前端中的端发射(TX)和接收端(RX)必须经过预处理,就是也滤波器滤波,然后才能发挥作用,滤波器要求满足低插损、高带外抑制和大承受功率、高镜像衰减、成本低、小封装等特点。因为其在体积、频段范围、和性价比上的特别优势,在移动通信系统SAW滤波器的应用中异军突起。中国电科集团第26研究所是目前国内唯一从事声体波器件研制和生产单位,已实现了声表面波滤波器工程应用和生产。近来3G甚至4G通讯技术的快速发展,高频,低损耗滤波器的发展已势在必行。本论文研究重点在于如何设计适合于3G甚至4G通讯技术的高频低损耗声表面波滤波器,并保证其工艺实现。在原有基础上也对设计方法和工艺方法进行优化改进:在设计方面,改进了声表面波滤波器设计方法,对参数进行最优化设计,仿真效率更高,提高了设计成功率。并通过选取合理的结构提高器件的功率承受能力。在工艺方面,开辟了新的工艺技术路线,在现行声表面波工艺平台基础上,采用电子束曝光等技术制备亚微米级图形,重点解决大面积电极和高密度、小尺寸汇流排同时曝光的技术。解决了滤波器的小型片式化问题,并采用多层膜技术,提升了器件的功率承受能力。最终获得了满足技术指标要求和工程化批量要求的移动通讯用低损耗滤波器。本论文研究得到的设计方法和工艺技术路线,已成为指导我所高频低损耗声表面波滤波器设计和工艺制作的指导性文件。