色谱技术以其分离效率高,分析速度快,选择性高,分析样品用量少等众多优点,目前已成为一种相当成熟且应用广泛的分离分析方法。近年来随着半导体器件制作工艺、芯片加工技术、精细微加工手段等一系列新兴技术的不断成熟化,各种微型气相色谱仪的研究与开发已经成为当前气相色谱技术的研究重点,而小型、轻便、快速的微型气相色谱仪已经成为发展的趋势。本文从气相色谱领域出发,详细地介绍了气相色谱在当今的应用并全面地总结了基于微机电技术的微型气相色谱系统的研究现状和最新进展,讨论了气相色谱的两种主要理论:塔板理论与速率理论,并根据相关理论确定出了器件的最终设计方案:长度1 m,宽度150μm,深300μm的蛇形开管和半填充色谱柱,同时摸索并确定了色谱柱的MEMS微细加工工艺,在物理结构的实现上尝试了干法刻蚀与湿法刻蚀两种主流的刻蚀手法,取得了成功。最后与pyrex7740玻璃进行键合密封完成了最终的器件制作。目前主流的固定相涂敷方式可分为静态涂敷和动态涂敷,本文采用优势更为明显的静态涂敷方法,其较之动态涂敷方法能实现更均匀的涂敷厚度并且易于控制,固定相采用非极性的二甲基聚硅氧烷,溶解于戊烷和二氯甲烷的混合液中,解决了向微型气相色谱柱内涂敷固定相的关键技术。