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细长管内表面双空心阴极放电及Cu薄膜制备研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：waterdrop505

【作 者】

：

刘仕远 

【出 处】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2021年01期

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