【摘 要】
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低相干干涉测量法作为光学测量的基本方法,在集成光学器件测量、生物医学检测以及传感领域,都有很重要的应用价值。本文主要研究基于Mach-Zehnder干涉结构的低相干干涉测量系
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低相干干涉测量法作为光学测量的基本方法,在集成光学器件测量、生物医学检测以及传感领域,都有很重要的应用价值。本文主要研究基于Mach-Zehnder干涉结构的低相干干涉测量系统,在装置建立、测量数据分析及应用等方面的关键问题。系统建立上,由于整个系统光学损耗较大,我们使用微弱信号检测中常用的锁相放大器来增加系统抗噪声性能。数据恢复上,在分析原有系统和理论的基础上,本文提出整形加窗法来处理阵列波导长度差与低相干光源干涉长度相近甚至小于干涉长度的情况,使得系统误差减小到0.5nm,减小了系统误差的同时,也放宽了系统对于低相干光源的限制。基于本文提出的理论和建立的实验装置,我们对AWG器件进行了反复测量。同时,使用Matlab仿真,得出了信噪比与本文计算误差的关系。通过仿真和实验研究,我们得出了本文系统噪声不符合白噪声特性的结论。同时还分析了造成系统误差的其他可能原因,提出了改进方向。
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