激光位移传感器输出特性分析及应用

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光学精密测量相比传统的测量方式具有非接触性、高灵敏度、高精度及快速与实时性等优点,在科学研究、工业生产、空间技术、国防等领域得到了广泛应用,是一种非常先进的测量技术。基于三角测量法的激光位移传感器近年来得到了快速发展,在零件的尺寸测量,三维轮廓测量,产品质量检测等领域极大的提高了测量效率和精度。利用激光位移传感器对零件进行非接触式测量是光学精密测量领域的重要研究内容,其采用激光三角法测量原理:测量系统发出的激光束经过聚焦后照射到被测物体表面,经漫反射后光线由成像透镜成像到光敏元件接受面上,通过光电转换器转换为电信号,电信号的输出大小仅与被测点的位置有关,当测点高度发生变化,像点位置随之改变,引起传感器输出信号发生变化。激光三角位移传感器测量零件时受零件表面特性:表面粗糙度、表面颜色、表面倾斜角等影响较大,测量之前对各种影响因素进行实验研究,分析其对测量精度的影响规律。测量盘形凸轮廓线时以测量角最小原则合理的布置激光位移传感器,通过计算确定传感器的安装位置及角度。本文的主要工作如下:1.根据被测物体表面的不同特性,对激光位移传感器进行了实验研究,重点分析了被测物体表面粗糙度、倾斜角、表面曲率等对测量结果的影响规律,并找出相应的措施减少测量误差。2.建立盘形凸轮廓线测量模型,对激光位移传感器的安装位置和角度进行精确计算,通过模拟分析了测量盘形凸轮廓线的可行性,对传感器测量值和凸轮廓线参数之间的关系进行了推理,最后完成静态测量实验及数据处理。
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