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相对于传统机械而言,微型器件由于尺寸效应,其表面摩擦力及粘着力等带来的磨损问题更为突出。由于缺乏可靠的润滑手段,严重阻碍了微器件的开发和应用。为此,本文尝试采用纳米磁性液体作润滑剂,通过构建一种矩阵磁场,并设计加工出硅基微器件进行摩擦磨损试验,探讨外加矩阵磁场作用下磁性液体在硅基表面形成的纹理图案及控制方法,研究其的摩擦学特性及润滑机理。通过计算纳米磁性液体在磁场中的受力情况,确定纳米磁性液体受力的主要影响因素;并进一步根据磁场修正的纳米磁性液体伯努利方程,探讨磁场作用对纳米磁性液体分布位置的影响关