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微纳定位技术是现代科学研究和产业发展的一项关键技术,在微电子制造、生物医学、精密仪表、航空航天、超精密加工、通信定位、柔性精密传动、国防工业等领域具有广阔的应用前景。其中以压电陶瓷作为驱动器,结合多种柔性铰链的微纳定位平台得到国内外学者的广泛讨论。然而,目前设计的微纳定位平台存在工作空间密度小,定位时间长的不足,给高性能的微纳定位平台设计与开发带来极大的挑战。本文结合沈阳市科技创新专项资金-应用基础研究专项“高精度定位工作台及其测控系统关键技术研究”(项目号:F13-316-1-74),对基于压电陶